[实用新型]一种槽式硅片加工机台

摘要

本实用新型公开了一种槽式硅片加工机台，其包括内槽、外槽、加热装置和均液管，内槽被配为盛放硅片花篮，外槽环绕内槽设置，外槽的上端面高于内槽的上端面，外槽上设有出液口，加热装置包括加热壳体和配合在加热壳体内的加热件，加热壳体位于外槽的外侧，加热壳体具有液体进口和液体出口，液体进口与出液口相连，加热件的外侧设有防腐蚀层，均液管设在内槽内，均液管上设有多个均液孔和进液口，进液口与液体出口相连。该槽式硅片加工机台能够较好地避免加热装置对药液的污染，并且能够较好地保证反应槽内的药液温度较为均匀。