[实用新型]光路延时双脉冲LIBS装置有效
申请号: | 201921828906.7 | 申请日: | 2019-10-28 |
公开(公告)号: | CN211179532U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 步扬;王远航;孙晨薇;徐静浩;王向朝 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01N21/63 | 分类号: | G01N21/63;G01N21/01 |
代理公司: | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人: | 张宁展 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光路延时双脉冲LIBS装置。本装置采用分光镜将一台激光器射出的激光光束分成两束,其中一束光经过聚焦后直接照射在待测样品表面,另一束光先通过光路延时器延迟一定时间,再经过聚焦,最后照射在待测样品表面。通过选择反射率和透过率不同的分光镜,可以实现分光光束能量的调整。通过调整光路延时器,可以改变延时光路的光程,从而改变两束激光的光程差,实现延迟时间的改变。相较于现有的双脉冲LIBS装置,本装置只需要一台激光器,不需要数字延时脉冲发生器,降低了系统成本,缩小了系统体积,有利于双脉冲LIBS装置的集成、推广和小型化。 | ||
搜索关键词: | 延时 脉冲 libs 装置 | ||
【主权项】:
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