[实用新型]光路延时双脉冲LIBS装置

权利要求书

1.一种光路延时双脉冲LIBS装置，包括脉冲激光器(1)，分光镜(2)，光程可调的光路延时器(3)，反光镜A(4)，反光镜B(5)，扩束准直聚焦透镜组A(6)，扩束准直聚焦透镜组B(7)，收集透镜(8)，光纤(9)，光谱仪(10)，计算机(11)和供待测样品(13)放置的位移台(12)；其特征在于：

所述的脉冲激光器(1)发射的脉冲激光经分光镜(2)分为透射光和反射光，其中反射光经反光镜B(5)反射后，经扩束准直聚焦透镜组A(6)聚焦照射在待测样品表面；所述的透射光通过光路延时器(3)，然后被反光镜A(4)反射，经扩束准直聚焦透镜组B(7)聚焦后照射在待测样品表面；

两束激光双脉冲照射在待测样品表面产生等离子体，等离子体发出的光由收集透镜(8)收集后，经光纤(9)传输至光谱仪(10)，光谱仪(10)与计算机(11)相连，可以对采集到的光谱进行分析；

所述的计算机(11)控制位移台(12)将待测样品(13)移动到指定位置。

2.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于：所述的分光镜(2)，采用透射率和反射率不同的分光镜，改变双脉冲LIBS光束能量的配比。

3.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，所述的光路延时器(3)，可通过调节延时光路内部结构，改变光程，调节激光通过光路延时器的时间，从而控制延迟时间。

4.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，所述的光谱仪自带外部触发模块和延时模块，通过与激光器相连，可调整激光产生和光谱采集之间延迟时间，优化采集光谱的信噪比。

5.根据权利要求1所述的光路延时双脉冲LIBS装置，其特征在于，通过调节两束入射到待测样品(13)的激光入射角度和光路延时器摆放位置实现正交再加热型双脉冲LIBS模式，正交预烧蚀型双脉冲LIBS模式，共线双脉冲LIBS模式，交叉型双脉冲LIBS模式这四种模式。