[实用新型]化学机械研磨环有效
| 申请号： | 201921815232.7 | 申请日： | 2019-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN211103391U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 颜慧贞 | 申请（专利权）人： | 楷丰科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 王玉双;张燕华 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种化学机械研磨环。本实用新型所提出的化学机械研磨环包含第一环形部与第二环形部，第一环形部的材质可以是不锈钢，第二环形部的材质可以是高阶塑料，例如PPS(聚苯硫醚)。第二环形部包含内环面、外环面与下表面，其中下表面位于内环面与外环面之间。第二环形部还包含多个排水沟槽，各排水沟槽具有内开口、外开口、下开口与槽底面，内开口位于内环面，外开口位于外环面，下开口位于下表面，槽底面相对于下开口，其中各排水沟槽的截面的宽度自下开口朝槽底面渐扩。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 | ||
【主权项】：
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