[实用新型]一种用于半导体或光伏材料加工设备的挡板有效

专利信息
申请号: 201921807034.6 申请日: 2019-10-25
公开(公告)号: CN211238155U 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 刘群;林佳继;庞爱锁;朱太荣;林依婷 申请(专利权)人: 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
主分类号: H01J37/32 分类号: H01J37/32
代理公司: 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 代理人: 董世博
地址: 518118 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种用于半导体或光伏材料加工设备的挡板,包括片状板体,所述片状板体设置在用于半导体或光伏材料加工设备的炉管下方,所述片状板体具有一定的弧度,所述片状板体的宽度不小于炉管宽度;本实用新型通过设置挡板,能够有效炉管上或者炉管周围的加工废物或杂物掉落而影响设备的其他部分,本实用新型的挡板和炉管的长度和宽度接近,也不会与设备内的其他部件干涉,并且,本实用新型的挡板采用中间低两边高的结构,能够向中部聚拢所接收的掉落物,有效防止二次掉落,此外,本实用新型的底部设置板固定工位,能够防止挡板自身的震动因此的不稳定性。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 材料 加工 设备 挡板
【主权项】:
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