[实用新型]一种不等间距舟片的石墨舟有效
申请号: | 201921777403.1 | 申请日: | 2019-10-22 |
公开(公告)号: | CN210974868U | 公开(公告)日: | 2020-07-10 |
发明(设计)人: | 吴寅;何军 | 申请(专利权)人: | 无锡鼎桥新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458;C23C16/50 |
代理公司: | 无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376 | 代理人: | 张悦 |
地址: | 214116 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种不等间距舟片的石墨舟,包括石墨舟本体,所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆,多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上,所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔,多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内,多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽,位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块。本实用新型设计合理,操作方便,便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节,提高镀膜的均匀性,避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象,满足使用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 不等 间距 石墨 | ||
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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