[实用新型]一种不等间距舟片的石墨舟

说明书

本实用新型公开了一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆，多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上，所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块。本实用新型设计合理，操作方便，便于根据实际需要对相邻的两个石墨舟片之间的间距进行调节，提高镀膜的均匀性，避免因气体或温度不确定因素的影响造成的镀膜不均匀的现象，满足使用需求。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟技术领域，尤其涉及一种不等间距舟片的石墨舟。

背景技术

目前在太阳能电池的生产工艺过程中,通常采用管式PECVD进行太阳能电池的镀膜，进行镀膜时，电池片镀膜时的载具通常为石墨舟，现有的石墨舟主要由多个石墨舟片和多个陶瓷杆组成，在镀膜时,石墨舟片间接入射频电源，硅片作为电极的一部分。

但是现有的石墨舟上相邻的两个石墨舟片之间的间距不便于根据实际需要进行调节，石墨舟片之间的距离都是等间距，且固定设置的，所以其中的电场强度一致，但是由于反应气体分布、温度等一些不确定因素的影响,在电场强度一致的情况下，容易造成在镀膜结束后，石墨舟外侧的膜厚往往较厚,影响了整舟的镀膜均匀性，不能满足使用需求，因此我们提出了一种不等间距舟片的石墨舟用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种不等间距舟片的石墨舟。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种不等间距舟片的石墨舟，包括石墨舟本体，所述石墨舟本体包括多个石墨舟片和多个陶瓷杆，多个石墨舟片均活动套设在多个陶瓷杆上，所述石墨舟片的一侧开设有两个第一通孔，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆分别位于对应的第一通孔内，多个陶瓷杆中位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互远离的一侧均开设有第一滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互远离的一侧内壁上均固定安装有第一滑块，第一滑块与对应的第一滑槽滑动连接，石墨舟片的一侧开设有两个矩形槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔位于对应的两个矩形槽之间，矩形槽的两侧内壁之间固定安装有两个定位杆，位于同一个矩形槽内的两个定位杆上滑动套设有同一个移动杆，移动杆靠近对应的陶瓷杆的一侧固定连接有螺杆，位于同一个石墨舟片上的两个螺杆的螺纹旋向相反，螺杆上螺纹套设有转动安装在对应的矩形槽一侧内壁上的旋钮，旋钮的顶部延伸至对应的石墨舟片的上方，螺杆远离对应的移动杆的一端延伸至对应的第一滑槽内并与第一滑槽远离其开口的一侧内壁紧密接触，螺杆远离对应的移动杆的一端设为锥形结构，所述第一滑块套设在对应的螺杆上，位于两侧的上方的两个陶瓷杆相互靠近的一侧均开设有第二滑槽，位于同一个石墨舟片上的两个第一通孔相互靠近的一侧内壁上均固定安装有第二滑块，第二滑块与对应的第二滑槽滑动连接。

优选的，所述旋钮的一侧开设有螺纹孔，螺纹孔与对应的螺杆螺纹连接。

优选的，所述第一滑块的一侧开设有第一通孔，螺杆位于对应的第一通孔内，第一通孔的侧壁与对应的螺杆的外侧不接触。

优选的，所述移动杆的一侧开设有两个矩形孔，矩形孔的侧壁与对应的定位杆的外侧滑动连接。

优选的，所述第一滑块的顶部和底部分别与对应的第一滑槽的顶部内壁和底部内壁滑动连接。

优选的，所述第二滑块的顶部和底部分别与对应的第二滑槽的顶部内壁和底部内壁滑动连接。

优选的，所述矩形槽的一侧内壁上开设有圆环形滑槽，旋钮的一侧固定安装有圆环形滑轨，圆环形滑槽与对应的圆环形滑轨滑动连接。

优选的，所述矩形槽的顶部内壁上开设有第二通孔，旋钮位于对应的第二通孔内，第二通孔的侧壁与对应的旋钮的外侧不接触。