[实用新型]一种单晶硅片用的多工位抛光机有效
| 申请号： | 201921776844.X | 申请日： | 2019-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN211332679U | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 孙韬 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B27/00;B24B41/06;B24B47/22;B24B47/12;B24B47/16 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基板，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件、在右竖直板的一侧设有抛光组件，所述抛光组件用于给位于夹持组件上的单晶硅片抛光；该抛光机不仅结构简单，而且能够大大提高抛光效率和抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 多工位 抛光机 | ||
【主权项】：
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