[实用新型]一种单晶硅片用的多工位抛光机

权利要求书

1.一种单晶硅片用的多工位抛光机，包括基板，其特征在于，所述基板上并排设有左竖直板和右竖直板，所述左竖直板和右竖直板之间设有夹持组件，所述夹持组件用于夹持单晶硅片；所述基板上在左竖直板的一侧设有用于驱动夹持组件转动的动力组件、在右竖直板的一侧设有抛光组件，所述抛光组件用于给位于夹持组件上的单晶硅片抛光。

2.根据权利要求1所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，所述抛光组件包括沿竖直方向设置在基板上的机架，所述机架内沿竖直方向设有滑槽，所述滑槽内滑动连接有滑块，所述滑槽内转动连接有沿竖直方向设置的丝杆，所述机架的上端固定安装有用于驱动丝杆转动的电机，所述电机与丝杆同轴设置；所述滑块上设有向夹持组件上方延伸的水平板，所述水平板上沿垂直于机架方向设有T字形滑槽，所述T字形滑槽为下端开口；所述T字形滑槽内滑动连接有滑板，所述滑板的下表面设有向下延伸的安装板，所述安装板上固定安装有抛光电机，所述抛光电机沿竖直方向设置且输出轴竖直向下，所述抛光电机的输出轴上固定安装有用于给单晶硅片抛光的抛光轮；所述滑块上安装有伸缩端与安装板固定连接的气缸。

3.根据权利要求1所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，所述夹持组件包括转动连接在左竖直板和右竖直板之间的转轴，所述转轴上固定安装有横截面为正方形的夹持块体，所述夹持块体周围的四个侧面上均设有左端开口的夹持槽；所述转轴上滑动连接有压紧板，所述压紧板位于夹持块体和左竖直板之间；所述转轴上套接有压紧弹簧，所述压紧弹簧位于压紧板和左竖直板之间用于迫使所述压紧板压向夹持块体。

4.根据权利要求1所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，所述动力组件包括蜗轮、蜗杆、转轮，所述蜗轮固定安装在转轴伸出左竖直板的一端，所述基板上在蜗轮的两侧沿竖直方向各设有一支撑板，所述蜗杆转动连接在两个支撑板之间，且与蜗轮啮合。

5.根据权利要求3所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，所述夹持块体在靠近左竖直板的一端设有定位杆，所述压紧板上设有与定位杆配合的定位孔。

6.根据权利要求3所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，所述压紧板在朝向夹持块体的面上设有向夹持槽内延伸的凸块，所述凸块上设有压紧斜面，所述夹持槽内在远离凸块的侧面上设有卡接斜面。

7.根据权利要求4所述的单晶硅片用的多工位抛光机，其特征在于，其中一个支撑板的侧面固定安装有向蜗轮圆心方向延伸的指针，所述蜗轮在远离左竖直板的端面设有指示刻度线。