[实用新型]一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构有效
| 申请号： | 201921752307.1 | 申请日： | 2019-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN210638359U | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 高凡 | 申请（专利权）人： | 昆山百利合电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F25D17/08 | 分类号： | F25D17/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，包括连接密封装置和玻璃外管，所述玻璃外管的上端安装有连接密封装置，所述玻璃外管的下端外部设置有密封排水装置，所述连接密封装置的上端内部设置有玻璃内管，所述玻璃内管的上端设置在连接密封装置的上侧，所述玻璃内管的另一端穿过玻璃外管和密封排水装置设置在密封排水装置的下侧，所述连接密封装置上设置有密封环，通过设计一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，通过在玻璃内管流入光刻胶，在玻璃外管内部通入冷气对内管内部的光刻胶进行冷却，玻璃的受热性很好不会与高温的光刻胶发生反应也不会出现融化变形的问题，而且这样光刻胶与冷切的接触面积更大，冷却效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 生产过程 冷却 传送 冷气 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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