[实用新型]一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构

权利要求书

1.一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，包括连接密封装置（2）和玻璃外管（3），其特征在于：所述玻璃外管（3）的上端安装有连接密封装置（2），所述玻璃外管（3）的下端外部设置有密封排水装置（4），所述连接密封装置（2）的上端内部设置有玻璃内管（1），所述玻璃内管（1）的上端设置在连接密封装置（2）的上侧，所述玻璃内管（1）的另一端穿过玻璃外管（3）和密封排水装置（4）设置在密封排水装置（4）的下侧，所述连接密封装置（2）上设置有密封环（6），所述密封环（6）设置在玻璃外管（3）和玻璃内管（1）的上端对向内侧，所述密封环（6）的上端外壁上设置有外沿（5），所述密封排水装置（4）上设置有固定环（10），所述固定环（10）设置在玻璃外管（3）和玻璃内管（1）的下端对向内侧，所述固定环（10）的下端设置有连接环（8），所述玻璃内管（1）左侧的固定环（10）靠近左侧内部设置有冷气进口（9），所述玻璃内管（1）右侧的固定环（10）靠近右侧内部设置有水汽排放口（7）。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，其特征在于：所述玻璃内管（1）的直径大小为十五厘米，所述玻璃外管（3）的直径大小为二十厘米，所述玻璃内管（1）和玻璃外管（3）的厚度均为一厘米。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，其特征在于：所述冷气进口（9）与外部制冷设备相接，所述玻璃外管（3）和玻璃内管（1）的对向内侧通过冷气进口（9）持续输送十五度冷风。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，其特征在于：所述玻璃内管（1）的两端长度大于玻璃外管（3）两端长度五十厘米。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，其特征在于：所述密封环（6）与固定环（10）的内外壁均能和玻璃内管（1）与玻璃外管（3）完全贴合在一起。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产过程中冷却传送冷气机构，其特征在于：所述密封环（6）和固定环（10）的高度均为十厘米，所述密封环（6）和固定环（10）均有光滑状外壁。