[实用新型]一种真空炉真空系统有效

专利信息
申请号: 201921732195.3 申请日: 2019-10-16
公开(公告)号: CN211060622U 公开(公告)日: 2020-07-21
发明(设计)人: 程革;刘鹏程;吴冰;孔德惠;于洪斌;张天龙;吴振磊;陶崇浩;李天华;赵嘉明;韩凤;何晓棠 申请(专利权)人: 沈阳沈真真空技术有限责任公司
主分类号: F27B5/05 分类号: F27B5/05;F27B5/06;B01D50/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 何丽英
地址: 110108 辽宁省沈阳市苏家屯区清*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型属于真空炉设备技术领域,具体地说是一种真空炉真空系统。包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵,其中大除尘装置的进气管与真空炉连接,大除尘装置具有一个或多个出气管,各出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接,罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接,罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接,小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。本实用新型结构简单,拆装方便,使用寿命长,抽空性能好。
搜索关键词: 一种 真空炉 真空 系统
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