[实用新型]一种真空炉真空系统有效
申请号: | 201921732195.3 | 申请日: | 2019-10-16 |
公开(公告)号: | CN211060622U | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 程革;刘鹏程;吴冰;孔德惠;于洪斌;张天龙;吴振磊;陶崇浩;李天华;赵嘉明;韩凤;何晓棠 | 申请(专利权)人: | 沈阳沈真真空技术有限责任公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/06;B01D50/00 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 何丽英 |
地址: | 110108 辽宁省沈阳市苏家屯区清*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型属于真空炉设备技术领域,具体地说是一种真空炉真空系统。包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵,其中大除尘装置的进气管与真空炉连接,大除尘装置具有一个或多个出气管,各出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接,罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接,罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接,小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。本实用新型结构简单,拆装方便,使用寿命长,抽空性能好。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空炉 真空 系统 | ||
【主权项】:
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