[实用新型]一种真空炉真空系统

说明书

本实用新型属于真空炉设备技术领域，具体地说是一种真空炉真空系统。包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵，其中大除尘装置的进气管与真空炉连接，大除尘装置具有一个或多个出气管，各出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接，罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接，罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接，小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。本实用新型结构简单，拆装方便，使用寿命长，抽空性能好。

技术领域

本实用新型属于真空炉设备技术领域，特别涉及一种真空炉真空系统。

背景技术

真空系统是真空炉设备中不可缺少的部分，真空炉主要靠真空系统中的真空泵进行抽空，现有真空系统若使用在高温真空炉上，抽空时间久，冷却效果差，除尘性能低，影响抽空进度，使用时降低了整台设备的使用效率。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型的目的在于提供一种真空炉真空系统，以解决现有真空炉真空系统抽空时间久，冷却效果差，除尘性能低及工作效率低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种真空炉真空系统，包括滑阀泵、一级过滤排气管路、二级过滤排气管路、大除尘装置、小除尘装置、罗茨泵排气管及罗茨泵，其中大除尘装置的进气管与真空炉连接，所述大除尘装置具有一个或多个出气管，各所述出气管通过一级过滤排气管路与罗茨泵的进气口连接，所述罗茨泵的排气口与罗茨泵排气管的进气口连接，所述罗茨泵排气管上设有多个排气口、且通过管路分别与多个小除尘装置的进气口连接，所述小除尘装置的排气口通过二级过滤排气管路与滑阀泵连接。

所述一级过滤排气管路包括大直径波纹管、直管及连接在所述大直径波纹管和直管之间的大直径挡板阀，其中直管的下端与所述罗茨泵的进气口连接，上端与大直径挡板阀的排气口连接，所述大直径挡板阀的进气口与大直径波纹管的一端连接，所述大直径波纹管的另一端与所述大除尘装置的出气管连接。

所述大直径挡板阀包括大直径挡板阀阀体和大直径挡板阀气缸，所述大直径挡板阀气缸设置于所述大直径挡板阀阀体顶部的大直径挡板阀上盖上，用于开启或关闭所述大直径挡板阀，所述大直径挡板阀气缸的缸体上端设有大直径挡板阀行程开关，所述大直径挡板阀气缸设有大直径挡板阀顶部气缸杆出入压板，所述大直径挡板阀顶部气缸杆出入压板与所述大直径挡板阀行程开关配合限制所述大直径挡板阀气缸的伸出行程，所述大直径挡板阀阀体的侧面进气口处设有大直径挡板阀侧接管，底部排气口处设有大直径挡板阀下接管。

所述直管包括直管体及固定连接在所述直管体两端的上法兰和下法兰，所述下法兰与所述罗茨泵的进气口通过螺栓固定连接，所述上法兰与所述大直径挡板阀的排气口定位连接，所述上法兰的外侧套设有活套法兰、且通过止口定位，所述活套法兰与所述大直径挡板阀的排气口通过螺栓固定连接。

所述罗茨泵排气管通过罗茨泵排气管支架支撑，所述罗茨泵排气管包括罗茨泵排气管筒体及卡扣连接在所述罗茨泵排气管筒体两端的盲板，所述罗茨泵排气管筒体上设有一个或多个进气口，各进气口处分别连接有进气接管，同时沿轴向还间隔设置有多个出气口，各出气口处分别连接有排气接管。

所述进气接管的直径大于所述排气接管的直径。

所述小除尘装置为分体式结构，包括可拆卸连接的上筒体和下筒体，其中下筒体底部设有小除尘装置支腿，所述上筒体的侧壁设有与进气口连接的小除尘装置侧接管，顶部设有与排气口连接的小除尘装置上接管。

所述二级过滤排气管路包括小直径挡板阀接管、小直径波纹管及小直径挡板阀，其中小直径挡板阀的进气口与所述小除尘装置的排气口连接，所述小直径挡板阀的排气口通过小直径波纹管与小直径挡板阀接管的一端连接，所述小直径挡板阀接管的另一端与所述滑阀泵的进气口连接。