[实用新型]一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座有效
申请号: | 201921721815.3 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN210849812U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B55/03 | 分类号: | B24B55/03;B24B41/04 |
代理公司: | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人: | 韦志刚 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,包括基座体、边口、抛光盘、进水管、出水管、第一水冷槽、水冷回路、第一接管、分回路、第二水冷槽、第二接管、第三回路和第三水冷槽,该抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座通过优化整体结构,第一水冷槽上设置了水冷回路进行循环冷却,水冷回路与分回路结构相同,固定脚用于固定安装架设,回路主体与第一增环、第二增环、第三增环形成完整连续回路进行循环降温,基座体为陶瓷制成,受热变形小,优化整体容易因温度产生较大形变的缺点,提升整体使用效果,水冷基座整体的水冷降温效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 抛光机 陶瓷 抛光 水冷 基座 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海致领半导体科技发展有限公司,未经上海致领半导体科技发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201921721815.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:药液混合装置
- 下一篇:一种启闭稳定的钢格板