[实用新型]一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座有效

专利信息
申请号: 201921721815.3 申请日: 2019-10-11
公开(公告)号: CN210849812U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 王永成 申请(专利权)人: 上海致领半导体科技发展有限公司
主分类号: B24B55/03 分类号: B24B55/03;B24B41/04
代理公司: 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 代理人: 韦志刚
地址: 201319 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,包括基座体、边口、抛光盘、进水管、出水管、第一水冷槽、水冷回路、第一接管、分回路、第二水冷槽、第二接管、第三回路和第三水冷槽,该抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座通过优化整体结构,第一水冷槽上设置了水冷回路进行循环冷却,水冷回路与分回路结构相同,固定脚用于固定安装架设,回路主体与第一增环、第二增环、第三增环形成完整连续回路进行循环降温,基座体为陶瓷制成,受热变形小,优化整体容易因温度产生较大形变的缺点,提升整体使用效果,水冷基座整体的水冷降温效果好。
搜索关键词: 一种 抛光机 陶瓷 抛光 水冷 基座
【主权项】:
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