[实用新型]一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座有效
申请号: | 201921721815.3 | 申请日: | 2019-10-11 |
公开(公告)号: | CN210849812U | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 王永成 | 申请(专利权)人: | 上海致领半导体科技发展有限公司 |
主分类号: | B24B55/03 | 分类号: | B24B55/03;B24B41/04 |
代理公司: | 上海互顺专利代理事务所(普通合伙) 31332 | 代理人: | 韦志刚 |
地址: | 201319 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光机 陶瓷 抛光 水冷 基座 | ||
1.一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:包括基座体(1)、边口(2)、抛光盘(3)、进水管(4)、出水管(5)、第一水冷槽(6)、水冷回路(7)、第一接管(8)、分回路(9)、第二水冷槽(10)、第二接管(11)、第三回路(12)和第三水冷槽(13),所述基座体(1)侧端一体成型有边口(2),所述基座体(1)顶端嵌入安装有抛光盘(3),所述进水管(4)固定安装于基座体(1)左侧端,所述进水管(4)右侧与第一水冷槽(6)内部相贯通,所述出水管(5)固定安装于基座体(1)右侧,所述第一水冷槽(6)上装设有水冷回路(7),所述第一水冷槽(6)通过第一接管(8)与第二水冷槽(10)贯通连接,所述分回路(9)底端固定装设于第二水冷槽(10)上,所述第二水冷槽(10)通过第二接管(11)贯通连接,所述第三回路(12)底端嵌入安装于第三水冷槽(13)上。
2.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述分回路(9)包括固定脚(91)、回路主体(92)、第一增环(93)、第二增环(94)和第三增环(95),所述固定脚(91)固定装设于回路主体(92)左侧端,所述固定脚(91)底端密封插接于第二水冷槽(10),所述回路主体(92)右侧一体成型有第一增环(93),所述第一增环(93)下方依次设置有第二增环(94)和第三增环(95)。
3.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述水冷回路(7)、第三回路(12)与分回路(9)结构、尺寸相同。
4.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述第一接管(8)呈Z字形设置,所述第二接管(11)呈Z字形设置。
5.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述进水管(4)左侧端口为进水口。
6.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述出水管(5)右侧端口为出水口。
7.根据权利要求1所述一种抛光机的陶瓷抛光盘水冷基座,其特征在于:所述第一水冷槽(6)的深度为三厘米,所述第二水冷槽(10)的深度为四厘米。
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