[实用新型]一种潘宁离子源有效
| 申请号： | 201921701555.3 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN211227314U | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 刘慧超;陈朝斌 | 申请（专利权）人： | 东莞东阳光高能医疗设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32;H01J27/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于离子源装置技术领域，公开一种潘宁离子源，包括等离子腔体，所述等离子腔体包括同轴设置且依次连接的第一壳体、第二壳体、第三壳体；所述第一壳体的顶端设置有阴极元件，所述第二壳体内设置有阳极元件，所述第二壳体外设置有磁场机构，所述第三壳体内设置有对阴极元件；所述潘宁离子源还包括冷却腔体，所述冷却腔体设置在所述第一壳体顶部，所述冷却腔体内的冷却液与所述第一壳体的顶端接触并将所述阴极元件覆盖在内。本实用新型的一种潘宁离子源，设置有冷却腔体，注入液体后可以使等离子腔体的密封度增加，在冷却等离子腔体的同时达到密封效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子源 | ||
【主权项】：
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