[实用新型]一种潘宁离子源

权利要求书

1.一种潘宁离子源，包括等离子腔体，其特征在于，所述等离子腔体包括同轴设置且依次连接的第一壳体、第二壳体、第三壳体；

所述第一壳体的顶端设置有阴极元件，所述第二壳体内设置有阳极元件，所述第二壳体外设置有磁场机构，所述第三壳体内设置有对阴极元件；

所述潘宁离子源还包括冷却腔体，所述冷却腔体设置在所述第一壳体顶部，所述冷却腔体内的冷却液与所述第一壳体的顶端接触并将所述阴极元件覆盖在内。

2.根据权利要求1所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述第一壳体顶端开设有阴极安装部，所述阴极元件安装在所述阴极安装部内；

所述冷却腔体包括第一密封端盖，所述第一密封端盖密封在所述阴极安装部上，所述第一密封端盖上设置有凸起的导流管，所述冷却腔体内的冷却液从所述导流管进入后覆盖所述阴极元件。

3.根据权利要求2所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述冷却腔体还包括第二密封端盖，所述第二密封端盖盖合在所述第一密封端盖上，所述第二密封端盖与所述第一密封端盖之间形成有与所述导流管连通的间隙。

4.根据权利要求1所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述磁场机构与所述第二壳体之间设置有驱动机构，所述驱动机构驱动所述磁场机构沿所述第二壳体轴向运动。

5.根据权利要求4所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述驱动机构包括支撑绝缘部件、菱形伸缩支架，所述磁场机构固定安装在所述支撑绝缘部件上，所述支撑绝缘部件与所述第二壳体滑动连接，所述菱形伸缩支架的两端分别与所述支撑绝缘部件、所述第二壳体抵连。

6.根据权利要求4所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述阳极元件与所述第二壳体之间设置有绝缘件。

7.根据权利要求1所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述第三壳体包括基座法兰、对阴极元件，所述基座法兰与所述第二壳体固定连接，所述对阴极元件设置在所述基座法兰内。

8.根据权利要求1所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述冷却腔体设置有相对设置的进液口和出液口。

9.根据权利要求1所述的一种潘宁离子源，其特征在于，所述冷却腔体端部设置有密封法兰。