[实用新型]用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源有效

专利信息
申请号: 201921665239.5 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN210866122U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 赵东锋;胡高明;陈旸 申请(专利权)人: 中国科学技术大学
主分类号: H01J49/02 分类号: H01J49/02
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 230026 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 一种用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源,包括信号源、功率放大器、射频共振电路、监测电路、偏置电路和负载,其中:信号源用于提供射频信号;功率放大器的用于对信号源提供的射频信号进行放大,生成驱动后续电路的高功率信号;射频共振电路,用于对功率放大器输出的高功率信号进行谐振放大,并输出给负载;监测电路用于监测经过射频共振电路谐振放大之后的信号;偏置电路用于对传输至负载的射频高压施加直流偏置电压;负载为多极杆离子阱或离子导向装置。本实用新型提供的射频电源,射频共振电路采用串联谐振回路,射频信号直接输入到谐振回路中,能量传输效率高,具有较高的品质因数,同时只有一条主回路,使得结构更简单。
搜索关键词: 用于 多极 离子 导向 装置 射频 电源
【主权项】:
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