[实用新型]用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源

权利要求书

1.一种用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，该电源包括信号源(100)、功率放大器(200)、射频共振电路(300)、监测电路(400)、偏置电路(500)和负载(600)，其中：

信号源(100)，用于提供一个幅度和频率可调的射频信号；

功率放大器(200)，输入端与信号源(100)的输出端相连接，用于对信号源(100)提供的射频信号进行放大，生成用以驱动后续电路的高功率信号；

射频共振电路(300)，输入端与功率放大器(200)的输出端相连接，第一输出端与负载(600)的正极性相连接，第二输出端与负载(600)的负极性相连接，用于对功率放大器(200)输出的高功率信号进行谐振放大，生成更高幅值的射频信号，并输出给负载(600)；

监测电路(400)，第一输入端与射频共振电路(300)的第一输出端相连接，第二输入端与射频共振电路(300)的第二输出端相连接，用于监测经过射频共振电路(300)谐振放大之后的信号，可以直观的获得输送至负载(600)的射频高压信号的幅值和频率，同时也可以监测电源和负载间的容性匹配状态；

偏置电路(500)，第一输入端与射频共振电路(300)的第一输出端相连接，第二输入端与射频共振电路(300)的第二输出端相连接，用于对传输至负载(600)的射频高压施加直流偏置电压；

负载(600)为多极杆离子阱或离子导向装置。

2.根据权利要求1所述的用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，所述射频共振电路(300)包括第一可变电阻(301)、第一电感(3021)、第二电感(3022)、第二可变电阻(303)和可变电容(304)，其中：

在第一可变电阻(301)、第一电感(3021)与可变电容(304)之间形成了第一串联谐振电路回路；在第二可变电阻(303)、第二电感(3022)和可变电容(304)之间形成了第二串联谐振电路回路；

第一可变电阻(301)的第一端口作为射频共振电路(300)的输入端，与功率放大器(200)的输出端相连接，第一可变电阻(301)的第二端口与第一电感(3021)的第一端口相连接；

可变电容(304)第一端口作为射频共振电路(300)的第一输出端口，可变电容(304)第二端口作为射频共振电路(300)的第二输出端口；

第一电感(3021)的第二端口与可变电容(304)的第一端口相连接，可变电容(304)的第二端口与第二电感(3022)的第一端口相连接，第二电感(3022)的第二端口与第二可变电阻(303)的第一端口相连接，第二可变电阻(303)的第二端口与地相连接；

第一可变电阻(301)和第二可变电阻(303)调节第一和第二串联谐振电路回路的品质因数，使得射频共振电路(300)的两个输出端达到平衡；

可变电容(304)调节第一和第二串联谐振电路回路的容值，使得射频共振电路(300)达到谐振的条件。

3.根据权利要求2所述的用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，所述第一电感(3021)和第二电感(3022)，采用羰基铁粉芯材质的磁环绕制而成，并且第一电感(3021)和第二电感(3022)缠绕在同一个磁环上。

4.根据权利要求3所述的用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，所述第一电感(3021)和第二电感(3022)的电感值相同。

5.根据权利要求1所述的用于多极杆离子阱和离子导向装置的射频电源，其特征在于，所述监测电路(400)包括第一监测电路(401)和第二监测电路(402)，其中，

第一监测电路(401)，输入端与射频共振电路(300)的第一输出端相连接，用于对从射频共振电路(300)第一输出端输出给负载的射频信号进行监测；

第二监测电路(402)，输入端与射频共振电路(300)的第二输出端相连接，用于对从射频共振电路(300)的第二输出端输出给负载的射频信号进行监测。