[实用新型]一种晶圆切割机用切割刀具有效
| 申请号： | 201921631470.2 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN211492320U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 乔金彪 | 申请（专利权）人： | 苏州斯尔特微电子有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/02 | 分类号： | B28D5/02 |
| 代理公司： | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人： | 张一鸣 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆切割机用切割刀具，包括刀轴，所述刀轴上安装有圆刀组，所述圆刀组由多个单体刀具组成，所述单体刀具包括锁定盘和刀盘，每组所述单体刀具中均包括两个锁定盘，所述锁定盘固定在刀轴的圆周外部，所述刀盘固定在两个锁定盘之间，所述锁定盘包括锁定盘主体，锁定盘主体的中部开设有锁定盘轴孔，锁定盘轴孔的两侧均设置有凸出环，所述刀盘包括刀盘主体，本实用新型的圆刀组由多个刀具组成，在使用本装置时，安装两个本装置，两个本装置应当为相互垂直的状态，一个本装置向着X轴运行时，可一次性将晶圆在X轴上切割完成，另一个本装置向着Y轴运行时，可一次性将晶圆在Y轴上切割完成，不需要多次切割，切割效率加快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 切割 刀具 | ||
【主权项】：
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