[实用新型]半导体检测用光学显微镜有效
| 申请号： | 201921620114.0 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN210982194U | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 赵靖 | 申请（专利权）人： | 张家港梓阳电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 许云峰 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港保税区新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 检测 用光 显微镜 | ||
【主权项】：
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