[实用新型]半导体检测用光学显微镜

说明书

本实用新型公开了半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧.工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板。光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结。立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测。

技术领域

本实用新型涉及半导体测试装置，特别涉及半导体测试用光学显微镜。

背景技术

对半导体材料内部缺陷的检测，是半导体工艺质量控制的常规手段，也是衡量和评价半导体质量的重要标准之一，其内部缺陷主要指内部的杂质、包裹体等。半导体在检测过程中必然会使用到光学显微镜，光学显微镜可快速定位半导体表面缺陷。光学显微镜使用光的反射或散射来检测半导体表面缺陷，由于缺陷会导致半导体表面不平整，进而表现出对光不同的反射、散射效应。根据对收到的来半导体表面的光信号进行处理，光学显微镜就可以定位缺陷的位置。光学显微镜具有高速成像，成本经济的特点，是目前工艺下的一种主要的缺陷检测技术。

半导体质量轻，容易发生晃动，影响检测效果。现有半导体检测用显微镜，缺少对半导体的固定装置，检测效果不佳，且光学显微镜镜头只可通过自身细调焦距。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用光学显微镜。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：半导体检测用光学显微镜，包括底座，在底座上固定有立柱和放置半导体的工作台，工作台位于立柱一侧，其特征在于：工作台上凹设有光源腔，光源腔内设置有检测光源，光源腔开口处设置有用于将检测光源的光线充分散射的折射板，光源腔四周环绕设置有若干压紧半导体的固定装置，固定装置包括手柄、固定座、连杆和压紧块，固定座可拆卸固定在工作台上，连杆可相对固定座上下翻转，连杆一端与手柄连接，另一端与压紧块固结；立柱上设置有可沿其上下滑动的定位架，定位架上固定有光学显微镜，光学显微镜的目镜螺纹连接有CCD相机，光学显微镜的物镜朝向折射板。

本实用新型的有益效果是，半导体通过固定装置固定在检测光源上方，固定装置结构简单，可对半导体进行快速定位，方便半导体检测；且光学显微镜可随定位架上下移动，进行粗调。

优选地，压紧块包括与连杆可拆卸连接的的连接杆，连接杆底部可拆卸连接有滑座，滑座内形成空腔，空腔内设置有可沿其上下滑动的压头，空腔内设置有弹簧，弹簧一端固定在空腔底部，一端管固定在压头上。压头在弹簧作用下沿空腔滑动，利用弹簧的弹力进行弹性压附定位，避免定位部件变形。

优选地，压头与半导体接触面设置有缓冲橡胶。

优选地，定位架包括套设于立柱上的套筒和与套筒固结的支撑架，支撑架与套筒为一体式结构，光学显微镜固结在支撑架上，套筒上设置有将套筒锁紧在立柱上的锁紧螺钉，定位架可沿立柱上下滑动，进行粗调。

优选地，套筒和支撑架间设置有若干加强筋，加强筋一端固结在套筒上，另一端与支撑架固结，提高稳定性。

优选地，立柱上设置有显示定位架移动距离的刻度线。

附图说明

图1为本实施例的结构示意图；

图2为本实施例中固定装置结构示意图；

图3为本实例中压紧块剖视图。

图中：