[实用新型]一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器有效
| 申请号： | 201921613673.9 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN210323896U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘志新 | 申请（专利权）人： | 山西仁荷微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/00 | 分类号： | G05D7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 030600 山西省晋中市山西示范区晋中开发区汇通产业园区迎宾西街和田商务大*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括底座，所述底座的顶部通过固定帽固定安装有外壳，所述底座表面的顶部套设有第一环形固定板，所述外壳表面的底部套设有第二环形固定板，所述第一环形固定板的顶部固定连接有卡接柱，所述卡接柱表面一侧的顶部固定连接有卡块，所述第一环形固定板的顶部固定连接有环形硅胶块，所述第二环形固定板的底部开设有环形限位槽，所述第二环形固定板上开设有通孔。本实用新型利用外壳与底座之间拆卸与安装操作简单方便，便于对气体质量流量控制器的内部的进行检修，且密封性好，可以防止气体泄漏通过外壳与底座之间的缝隙扩散出来，同时外壳的散热性效率快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 泄漏 功能 气体 质量 流量 控制器 | ||
【主权项】：
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