[实用新型]一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器

权利要求书

1.一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，包括底座，其特征在于：所述底座的顶部通过固定帽固定安装有外壳，所述底座表面的顶部套设有第一环形固定板，所述外壳表面的底部套设有第二环形固定板，所述第一环形固定板的顶部固定连接有卡接柱，所述卡接柱表面一侧的顶部固定连接有卡块，所述第一环形固定板的顶部固定连接有环形硅胶块，所述第二环形固定板的底部开设有环形限位槽，所述第二环形固定板上开设有通孔。

2.根据权利要求1所述的一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，其特征在于：所述固定帽的底部开设有与所述卡接柱相适配的柱形孔，所述柱形孔内表面的一侧连通有与卡块相适配的连接槽。

3.根据权利要求2所述的一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，其特征在于：所述连接槽内表面的一侧连通有弧形限位槽，所述限位槽的内表面粘接有橡胶垫。

4.根据权利要求1所述的一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，其特征在于：所述外壳的内表面粘接有绝缘导热层，所述外壳的表面贯穿有导热块。

5.根据权利要求4所述的一种具有防泄漏功能的气体质量流量控制器，其特征在于：所述导热块的一侧与绝缘导热层的一侧接触，所述导热块接触绝缘导热层的一侧设置为梯形，所述绝缘导热层的一侧设置有若干个弧形槽。