[实用新型]一种晶圆隔离环有效
| 申请号： | 201921602613.7 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN210593298U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波 | 申请（专利权）人： | 义柏科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B65D57/00 | 分类号： | B65D57/00;B65D81/05;B65D85/30;B65D85/62 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街12号4栋1*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆隔离环，包括环状主体，所述环状主体的顶面边缘设有凸出所述环状主体的顶面设置的环状支撑台；所述环状支撑台上设有若干通气槽；所述若干通气槽沿所述环状支撑台的周向间隔设置，还包括设置在所述环状主体外周壁的限位结构，所述限位结构包括若干限位突起；所述若干限位突起设置在所述环状主体的外周壁，沿所述环状主体的径向凸出设置，且沿所述环状主体的周向间隔设置，以与另一所述晶圆隔离环的限位结构配合对晶圆进行限位。该晶圆隔离环一方面可减小晶圆的活动空间，保护晶圆不被划伤，能够有效的保护晶圆，另一方面固定了隔离环之间的叠合高度，使其更易于保护，为使用者带来极大的便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隔离 | ||
【主权项】：
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