[实用新型]一种晶圆隔离环有效

申请号：	201921602613.7	申请日：	2019-09-23
公开（公告）号：	CN210593298U	公开（公告）日：	2020-05-22
发明（设计）人：	邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波	申请（专利权）人：	义柏科技（深圳）有限公司
主分类号：	B65D57/00	分类号：	B65D57/00;B65D81/05;B65D85/30;B65D85/62
代理公司：	深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314	代理人：	林俭良
地址：	518000 广东省深圳市龙岗区园山街道保安社区简龙街12号4栋1***	国省代码：	广东;44
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摘要：
搜索关键词：	一种隔离
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【权利要求书】：

1.一种晶圆隔离环，包括环状主体(10)，所述环状主体(10)的顶面边缘设有凸出所述环状主体(10)的顶面设置的环状支撑台(20)；所述环状支撑台(20)上设有若干通气槽(21)；所述若干通气槽(21)沿所述环状支撑台(20)的周向间隔设置，其特征在于，

还包括设置在所述环状主体(10)外周壁的限位结构(30)，所述限位结构(30)包括若干限位突起(31)；所述若干限位突起(31)设置在所述环状主体(10)的外周壁，沿所述环状主体(10)的径向凸出设置，且沿所述环状主体(10)的周向间隔设置，以与另一所述晶圆隔离环的限位结构(30)配合对晶圆进行限位。

2.根据权利要求1所述的晶圆隔离环，其特征在于，每一所述限位突起(31)上设有与另一所述晶圆隔离环的限位突起(31)连接的连接组件。

3.根据权利要求2所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述连接组件包括设置在所述限位突起(31)的顶面(311)的限位槽(313)，和/或设置在所述限位突起(31)底面(312)的限位凸台(314)；

所述限位突起(31)上的所述限位槽(313)与另一所述晶圆隔离环的限位凸台(314)相互配合；

所述限位突起(31)上的所述限位凸台(314)与另一所述晶圆隔离环的限位槽(313)相互配合。

4.根据权利要求3所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述限位槽(313)的尺寸大于所述限位凸台(314)的尺寸。

5.根据权利要求3所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述限位槽(313)的深度大于所述限位凸台(314)的凸出高度。

6.根据权利要求1所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述限位突起(31)的顶面(311)为弧面；

所述限位突起(31)的底面(312)为平面。

7.根据权利要求1所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述限位突起(31)的顶面(311)与所述环状主体(10)相接处设有第一斜面(315)；

所述限位突起(31)的底面(312)与所述环状主体(10)相接处设有第二斜面(316)；

所述第一斜面(315)与另一所述晶圆隔离环的第二斜面(316)之间留设有间隔。

8.根据权利要求1所述的晶圆隔离环，其特征在于，所述限位突起(31)上部的高度高于所述环状支撑台(20)的高度，以形成挡墙。