[实用新型]治具有效
| 申请号： | 201921572072.8 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN210526580U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 陈开鹰 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B62B3/00 | 分类号： | B62B3/00;B62B3/10 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201306 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种治具，包括：挂板，所述挂板上设置有至少一个挂钩，所述挂钩上设置有用于悬挂研磨部件的凹部；底板，位于所述挂板的下方。本实用新型提供的治具可用于存储和搬运晶圆载具和修整器等研磨部件。基于其优化的结构设计，本实用新型的治具可极大减少研磨部件在储存和搬运等过程中造成的磨损，有利于避免因研磨部件上残留的水分和药液等造成晶圆厂内的污染和由此引发的环境安全等问题。采用本实用新型的治具搬运研磨部件，可极大减少人力劳动，有助于提高晶圆厂的安全管理水平。 | ||
| 搜索关键词： | 治具 | ||
【主权项】：
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