[实用新型]一种真空反应室用压力检测机构有效

专利信息
申请号: 201921555387.1 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN210533601U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 王浩明;陈永萍;张莉;张广德 申请(专利权)人: 苏州子山半导体科技有限公司
主分类号: G01L21/00 分类号: G01L21/00
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 薛芳芳
地址: 215000 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种真空反应室用压力检测机构,包括表盘外壳和固定接头管,所述固定接头管安装固定在表盘外壳的下端中间位置上,所述表盘外壳和固定接头管连接处设置有六角螺母,所述表盘外壳的前端中间设置有弧形遮挡块,所述弧形遮挡块包括弧形前块、阻挡连接块和弧形凸块,通过弧形前块、阻挡连接块和弧形凸块所组成的弧形遮挡块起到很好的遮挡作用,而弧形遮挡块的阻挡连接块连接在表盘外壳上,从而弧形前块在伸缩的时候不易脱落,这样人员可以很好的根据需要来调节弧形前块的位置,使得起到很好的遮挡灰尘和遮光作用,而调节的时候,通过弧形凸块便于进行抽拉使用,使得在使用的时候更加便利。
搜索关键词: 一种 真空 反应 压力 检测 机构
【主权项】:
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