[实用新型]一种真空反应室用压力检测机构有效

专利信息
申请号: 201921555387.1 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN210533601U 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 王浩明;陈永萍;张莉;张广德 申请(专利权)人: 苏州子山半导体科技有限公司
主分类号: G01L21/00 分类号: G01L21/00
代理公司: 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 代理人: 薛芳芳
地址: 215000 江苏省苏州市工*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 反应 压力 检测 机构
【权利要求书】:

1.一种真空反应室用压力检测机构,包括表盘外壳(2)和固定接头管(7),其特征在于:所述固定接头管(7)安装固定在表盘外壳(2)的下端中间位置上,所述表盘外壳(2)和固定接头管(7)连接处设置有六角螺母(6),所述表盘外壳(2)的前端中间设置有弧形遮挡块(1),所述弧形遮挡块(1)包括弧形前块(111)、阻挡连接块(112)和弧形凸块(113),所述弧形前块(111)的前端中间设置有弧形凸块(113),所述弧形前块(111)的后端设置有阻挡连接块(112),所述阻挡连接块(112)连接在表盘外壳(2)上,所述表盘外壳(2)的内部中间设置有内部游丝(9),所述内部游丝(9)的外侧位于表盘外壳(2)内部设置有内部机芯(11),所述内部机芯(11)的中间位于表盘外壳(2)的外侧设置有转动指针(4),所述转动指针(4)的外侧位于表盘外壳(2)上设置有内部刻度(3),所述内部刻度(3)的左端外侧位于表盘外壳(2)上设置有阻挡圆柱(5),所述内部机芯(11)的外端设置有固定连杆(10),所述固定连杆(10)的另一端设置有弹簧管(8),所述弹簧管(8)固定连接在固定接头管(7)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述固定接头管(7)包括内部孔洞(71)、固定圆柱(72)和旋转金属环(73),所述固定圆柱(72)的内部设置有内部孔洞(71),所述固定圆柱(72)的外侧一周设置有旋转金属环(73),所述固定圆柱(72)连接在表盘外壳(2)上。

3.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述固定连杆(10)包括右侧连接段(101)、中间连接块(102)和左侧连接段(103),所述中间连接块(102)的左端外侧设置有左侧连接段(103),所述中间连接块(102)的右端外侧设置有右侧连接段(101),所述右侧连接段(101)连接在弹簧管(8)上,所述左侧连接段(103)连接在内部机芯(11)上。

4.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述表盘外壳(2)为圆柱形,且所述表盘外壳(2)的内部成中空状态。

5.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述弹簧管(8)和固定连杆(10)通过螺钉固定连接,且所述固定连杆(10)和弹簧管(8)活动固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述转动指针(4)位于表盘外壳(2)的内部中间位置上,且所述转动指针(4)活动固定在内部机芯(11)的内部中间位置上。

7.根据权利要求1所述的一种真空反应室用压力检测机构,其特征在于:所述表盘外壳(2)内部分为两层,底层固定安装敏感元件,外侧内部填充防震液。

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