[实用新型]电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条有效
| 申请号： | 201921552357.5 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN210796607U | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张云生 | 申请（专利权）人： | 深圳市乐苏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 深圳科湾知识产权代理事务所(普通合伙) 44585 | 代理人： | 钟斌 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，属于电子束蒸发真空镀膜机技术领域。电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，包括挡板主体和修正条主体，所述修正条主体的外壁开凿有滑槽，所述挡板主体上开凿有与滑槽相对应的第二凹孔，所述第二凹孔与滑槽内连接有第一固定螺栓，所述第一固定螺栓上连接有固定螺母，所述挡板主体的底部还连接有横杆，所述横杆的外壁连接有竖杆，所述竖杆与横杆之间连接有支撑杆，所述竖杆的外壁还滑动连接有固定块；本实用新型在均匀性挡板未能合理遮蔽某个伞位的蒸发厚度时，可灵活调节修正条移动，达到遮蔽某个伞位的膜层厚度的目的，使之均匀性误差更加缩小，增加变化的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 蒸发 真空镀膜 均匀 挡板 修正 | ||
【主权项】：
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