[实用新型]电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条

说明书

本实用新型公开了电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，属于电子束蒸发真空镀膜机技术领域。电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，包括挡板主体和修正条主体，所述修正条主体的外壁开凿有滑槽，所述挡板主体上开凿有与滑槽相对应的第二凹孔，所述第二凹孔与滑槽内连接有第一固定螺栓，所述第一固定螺栓上连接有固定螺母，所述挡板主体的底部还连接有横杆，所述横杆的外壁连接有竖杆，所述竖杆与横杆之间连接有支撑杆，所述竖杆的外壁还滑动连接有固定块；本实用新型在均匀性挡板未能合理遮蔽某个伞位的蒸发厚度时，可灵活调节修正条移动，达到遮蔽某个伞位的膜层厚度的目的，使之均匀性误差更加缩小，增加变化的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及电子束蒸发真空镀膜机技术领域，尤其涉及电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条。

背景技术

电子束蒸发法是真空蒸发镀膜的一种，是在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜的方法，通过电子束蒸发，任何材料都可以被蒸发，不同材料需要采用不同类型的增竭以获得所要达到的蒸发率。

现有技术中通常采用均匀性挡板来调节镀膜机的均匀性，但是均匀性挡板是用锡箔纸包在挡板上，挡板的上下限包的锡箔纸的尺寸决定伞位的膜层厚度，在修均匀性时随时可以徒手折叠锡箔纸的尺寸，但是因锡箔纸比较软，容易变形，容易造成均匀性不稳定，在周期性保养时，且拆卸的均匀性挡板不能百分百还原拆卸之前的位置，影响重复修复均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的问题，而提出的电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，包括挡板主体和修正条主体，所述修正条主体的外壁开凿有滑槽，所述挡板主体上开凿有与滑槽相对应的第二凹孔，所述第二凹孔与滑槽内连接有第一固定螺栓，所述第一固定螺栓上连接有固定螺母，所述固定螺母与挡板主体的底部外壁相抵，所述挡板主体的底部还连接有横杆，所述横杆的外壁连接有竖杆，所述竖杆与横杆之间连接有支撑杆，所述竖杆的外壁还滑动连接有固定块。

优选的，所述挡板主体的外壁和横杆的外壁均开凿有相对应的第一凹孔，所述第一凹孔内连接有内六角螺栓，所述内六角螺栓上螺纹连接有与横杆底部外壁相抵的锁紧螺母。

优选的，所述支撑杆的外壁连接有插杆，所述横杆的外壁设有与插杆相配合的通孔，所述插杆的外壁还螺纹连接有固定旋钮。

优选的，所述支撑杆远离插杆的一端外壁还连接有插板，所述固定块上设有与插板相对应的插槽。

优选的，所述竖杆与固定块的外壁均设有相配合的螺纹孔，所述插板的外壁均设与螺纹孔相对应的圆孔，所述螺纹孔和圆孔内连接有第二固定螺栓。

优选的，所述固定块上还螺纹连接有第三固定螺栓。

与现有技术相比，本实用新型提供了电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，具备以下有益效果：

1、该电子束蒸发真空镀膜机均匀性挡板修正条，首先将挡板主体与横杆上的第一凹孔对应，然后在第一凹孔内连接内六角螺栓，通过锁紧螺母使挡板主体与横杆固定连接，然后将修正条主体上的滑槽与挡板主体上的第二凹孔相对应，通过第一固定螺栓和固定螺母将其固定连接，且修正条主体可在滑槽的作用下在第一固定螺栓上滑动，从而可方便调节修正条主体的位置，缩小均匀性的误差，增强其稳定性，然后可在固定块上连接第三固定螺栓，从而使竖杆的位置固定，且支撑杆可使横杆与竖杆连接更稳定，插杆插接在通孔内，通过固定旋钮固定，可使其方便拆卸，插板插接在插槽内，可使固定块对其进行固定，增强固定效果，且可根据使用场合，调整支撑杆的位置，使其方便使用，在螺纹孔内连接第二固定螺栓，则可使固定块和插板方便连接，使其连接更稳定。