[实用新型]一种与手套箱对接的真空腔体结构有效
| 申请号： | 201921521047.7 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN210551362U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 钱进;韩晓;张晗 | 申请（专利权）人： | 沈阳奇汇真空技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种与手套箱对接的真空腔体结构，包括真空室和惰性气体手套箱，真空室和惰性气体手套箱紧密贴合，且真空室和惰性气体手套箱之间设有侧滑门板，固定板整体通过连接件连接有真空室门板，固定板和真空室门板之间定装配有锁紧装置。通过在真空室与惰性气体手套箱之间设置可以滑动的真空室门板，方便惰性气体手套箱与真空室进行对接，让真空腔体一直处于惰性气体的保护状态下，可以有效提高腔体抽真空的时间，有效避免腔体腔体被污染，降低高真空状态下腔体内氧气等的含量，更换样品、沉积材料和沉积器皿等更加方便，而且比圆法兰对接的方式节省整体设备的占地空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 手套 对接 空腔 结构 | ||
【主权项】：
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