[实用新型]一种与手套箱对接的真空腔体结构

说明书

本实用新型公开了一种与手套箱对接的真空腔体结构，包括真空室和惰性气体手套箱，真空室和惰性气体手套箱紧密贴合，且真空室和惰性气体手套箱之间设有侧滑门板，固定板整体通过连接件连接有真空室门板，固定板和真空室门板之间定装配有锁紧装置。通过在真空室与惰性气体手套箱之间设置可以滑动的真空室门板，方便惰性气体手套箱与真空室进行对接，让真空腔体一直处于惰性气体的保护状态下，可以有效提高腔体抽真空的时间，有效避免腔体腔体被污染，降低高真空状态下腔体内氧气等的含量，更换样品、沉积材料和沉积器皿等更加方便，而且比圆法兰对接的方式节省整体设备的占地空间。

技术领域

本实用新型涉及真空室技术领域，具体为一种与手套箱对接的真空腔体结构。

背景技术

在将惰性气体手套箱与真空室进行对接时，多采用在惰性气体手套箱上开一个圆形的法兰，真空腔室和圆形的法兰进行对接，样品通过传递杆传递到手套箱内，在使用圆法兰进行对接时存在以下缺点：只能进行样品的交接，更换样品的过程较为繁琐，更换沉积材料和沉积器皿等也更加浪费时间。为此，我们提出一种与手套箱对接的真空腔体结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种与手套箱对接的真空腔体结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种与手套箱对接的真空腔体结构，包括真空室和惰性气体手套箱，惰性气体手套箱的背面为凹型，手套箱的背板距离前操作板间距≤300mm。真空室和惰性气体手套箱紧密贴合，且真空室和惰性气体手套箱之间设有侧滑门板，所述惰性气体手套箱的内腔侧壁上设有滑动机构和下滑动机构，所述上滑动机构和下滑动机构内滑动连接有移定板，所述移定板的整体通过连接件连接有真空室门板，所述固定板和真空室门板之间固定装配有锁紧装置。操作者可以直接将手套箱内的手套伸入到真空室内进行镀膜材料和镀膜器皿的更换和装卸。

优选的，所述上滑动机构包括滑轨，所述滑轨安装于真空室的侧壁贯穿至惰性气体手套箱的内腔，所述滑轨的外侧壁套接有第一滑块，所述第一滑块固定安装在固定板的侧壁。

优选的，所述下滑动机构包括安装板，所述安装板安装于真空室的侧壁贯穿至惰性气体手套箱的内腔，所述安装板之间固定安装有滑杆，所述滑杆的外侧壁套接有第二滑块，所述第二滑块固定安装在固定板的侧壁。

优选的，所述连接件包括通过螺钉固定安装在真空室门板侧壁的连接杆，所述连接杆的外侧壁套接有连接管，所述连接管卡接在固定板的内腔。

优选的，所述锁紧装置包括固定安装在真空室门板侧壁的固定管，所述固定管内螺接有贯穿固定板的螺杆，所述螺杆的外侧端螺接有把手轮。

优选的，所述真空室门板的侧壁通过螺钉固定安装有把手。

优选的，所述滑轨为双层导轨。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种与手套箱对接的真空腔体结构，为真空沉降镀膜提供了一种全新的方式，通过在真空室与惰性气体手套箱之间设置可以滑动的真空室门板，方便惰性气体手套箱与真空室进行对接，让真空腔体一直处于惰性气体的保护状态下，可以有效提高腔体抽真空的时间，有效避免腔体腔体被污染，降低高真空状态下腔体内氧气等的含量，可以通过手套箱内的手套操作更换样品、沉积材料和沉积器皿等更加方便，而且比圆法兰对接的方式节省整体设备的占地空间。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型的侧视图。

图3为本实用新型的俯视图。