[实用新型]一种空心阴极磁控溅射靶

摘要

本实用新型公开了一种空心阴极磁控溅射靶，包括密封管和绝缘套，绝缘套通过内六角螺栓固定安装于密封管的外部，密封管的内部开设有镀膜腔，且密封管的侧壁内开设有水冷腔，靶安装口的上侧壁开设有管接头，环形磁铁之间交替固定安装有铁轭，采用空心阴极方式，靶材为圆筒型，被镀材料安装在圆筒的中心区域，镀膜材料进行轴向运动，靶材实现向心溅射。与市面上普遍采用的磁控靶相比，它起辉稳定，不放电，不拉弧，且能镀各种形状材料，均匀性好，可以实现更完美的真空镀膜，空心阴极被称为是未来的镀膜技术，几个重大技术问题的存在阻碍了它的普遍采用，不过这种情况会慢慢发生了改变。