[实用新型]碳化硅晶体生长车间用排气装置及排气系统有效
| 申请号： | 201921474561.X | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN210636097U | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 徐良;曹力力;蓝文安;占俊杰;阳明益;朱卫祥;刘建哲;余雅俊 | 申请（专利权）人： | 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 董李欣 |
| 地址： | 321000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及车间排气领域，具体涉及一种碳化硅晶体生长车间用排气装置，所述碳化硅晶体生长车间包括用于支撑房顶的纵横交错的房梁，房梁与房顶形成多个凹面区域，包括于所述碳化硅晶体生长车间外设置的抽风机构以及于所述碳化硅晶体生长车间内设置的排气管，其中，所述排气管的一端位于所述碳化硅晶体生长车间内，所述抽风机构与所述排气管的另一端连接，用于将所述排气管内的气体排出所述碳化硅晶体生长车间外；所述排气管与所述凹面区域连通，所述排气管上间隔开设有若干个抽气孔。本实用新型通过与所述凹面区域连通的排气管，使得房顶各个角落的气体被排出所述碳化硅晶体生长车间外，避免了大量的氢气聚集造成的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 碳化硅 晶体生长 车间 排气装置 排气 系统 | ||
【主权项】：
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