[实用新型]碳化硅晶体生长车间用排气装置及排气系统

权利要求书

1.一种碳化硅晶体生长车间用排气装置，所述碳化硅晶体生长车间包括用于支撑房顶的纵横交错的房梁，所述房梁与房顶形成多个凹面区域，其特征在于，所述排气装置包括于所述碳化硅晶体生长车间外设置的抽风机构以及于所述碳化硅晶体生长车间内设置的排气管；其中，所述排气管的一端位于所述碳化硅晶体生长车间内，所述抽风机构与所述排气管的另一端连接，用于将所述排气管内的气体排出所述碳化硅晶体生长车间外；所述排气管连通所述凹面区域，所述排气管上间隔开设有若干个抽气孔。

2.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述凹面区域具有角落，所述排气管沿所述角落设置。

3.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管的直径为10-50mm。

4.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管为聚氯乙烯排气管、聚乙烯排气管、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物排气管或聚丙烯排气管。

5.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排气管位于所述碳化硅晶体生长车间内的一端为闭合端。

6.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述抽气孔的直径为1-2mm。

7.根据权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述抽气孔在所述排气管上的分布密度为100-500/m²。

8.一种排气系统，其特征在于，包括碳化硅晶体生长车间以及如权利要求1-7任一项所述的排气装置；其中，所述排气管固定在所述碳化硅晶体生长车间的房顶上。

9.根据权利要求8所述的排气系统，其特征在于，所述房梁开设有供所述排气管穿过的通孔。

10.根据权利要求8所述的排气系统，其特征在于，所述排气管通过线卡钉、泡沫棉或卡扣固定在所述房顶上。