[实用新型]一种旋转显定影装置有效
| 申请号： | 201921434903.5 | 申请日： | 2019-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN210222484U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王坚红;徐明成;陈锋;黄国军;王锋 | 申请（专利权）人： | 常山弘远电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 324200 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转显定影装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有的晶圆不能与显影液或定影液充分接触的问题，现提出如下方案，其包括驱动电机，所述驱动电机顶部设有联轴器，所述联轴器与驱动电机传动连接，所述联轴器顶部设有平面轴承，所述平面轴承顶部设有旋转托盘，所述旋转托盘顶部表面设有溶液缸体。通过设有驱动电机和溶液缸体，在溶液缸体内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒，驱动电机工作转动，依次带动联轴器、平面轴承、旋转托盘和溶液缸体转动，从而带动溶液缸体内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 定影 装置 | ||
【主权项】：
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