[实用新型]一种旋转显定影装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转显定影装置，涉及半导体晶圆加工领域，针对现有的晶圆不能与显影液或定影液充分接触的问题，现提出如下方案，其包括驱动电机，所述驱动电机顶部设有联轴器，所述联轴器与驱动电机传动连接，所述联轴器顶部设有平面轴承，所述平面轴承顶部设有旋转托盘，所述旋转托盘顶部表面设有溶液缸体。通过设有驱动电机和溶液缸体，在溶液缸体内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒，驱动电机工作转动，依次带动联轴器、平面轴承、旋转托盘和溶液缸体转动，从而带动溶液缸体内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆加工领域，尤其涉及一种旋转显定影装置。

背景技术

目前台面半导体芯片的光刻工序中，在曝光后的显影工序一般把晶圆放入载片盒，人工或机械方式操作载片盒，使载片盒带动晶圆上下或前后扰动的显影，使用显影液或定影液清洗漂洗去除晶圆上的未曝光的光刻胶区域。由于载片盒的需要固定晶圆的结构设计限制，晶圆在上下或前后扰动过程中，晶圆边缘无数次碰撞，在显定影工序及后工序造成晶圆碎片及隐裂。另外，在载片盒与晶圆接触部分，仅仅上下或前后扰动，显影液或定影液不能充分清洗漂洗，使得晶圆上固定位置的外观缺陷、良率低，因此，发明一种旋转显定影装置很有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种旋转显定影装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种旋转显定影装置，包括驱动电机，所述驱动电机顶部设有联轴器，所述联轴器与驱动电机传动连接，所述联轴器顶部设有平面轴承，所述平面轴承顶部设有旋转托盘，所述旋转托盘顶部表面设有溶液缸体，所述溶液缸体顶部设有载片盒挂架，所述载片盒挂架与溶液缸体之间设有载片盒，所述载片盒挂架顶部设有移动座。

优选的，所述平面轴承与联轴器螺纹连接，所述平面轴承外侧设有稳定板，所述稳定板外侧设有定位螺栓，所述定位螺栓贯穿稳定板与旋转托盘螺纹连接。

优选的，所述旋转托盘底部表面设有卡接槽，所述卡接槽与平面轴承顶部表面卡接，所述旋转托盘两侧固定设有侧板，所述侧板内侧设有推板，所述侧板与推板之间均匀设有电动推杆。

优选的，所述溶液缸体顶部一端设有转动杆，所述转动杆与溶液缸体铰接，所述转动杆外侧固定设有顶盖。

优选的，所述载片盒挂架与载片盒之间设有连接杆，所述载片盒内部均匀设有插孔，所述插孔内部插接有晶圆。

优选的，所述移动座与载片盒挂架之间均匀设有液压升降杆，所述移动座部外侧连接有驱动机构。

本实用新型的有益效果为：通过设有驱动电机和溶液缸体，在溶液缸体内装显影液或定影液，将晶圆插入载片盒，驱动电机工作转动，依次带动联轴器、平面轴承、旋转托盘和溶液缸体转动，从而带动溶液缸体内部的显影液或定影液移动，增加显影液或定影液与晶圆的的接触机会和接触压力，使晶圆与显影液或定影液充分接触，从而提高了显定影效果，避免了圆晶上固定位置外观缺陷、良率低的情况发生；

通过设有外设的载片盒挂架和顶盖，不仅方便载片盒悬挂，而且适合不同尺寸的载片盒，溶液缸体与包括驱动电机、联轴器、平面轴承、和旋转托盘组成的装置可以进行简单快速的分离，方便溶液缸体的清洁与更换溶液，在不使用时，取走载片盒挂架及其底部连接的载片盒，溶液缸体上加上顶盖，防止溶液挥发，节约使用，在本实用新型结构简单，成本低，显影定影充分，晶圆不易碎，应用广泛；

通过设有稳定板和侧板，安装时将旋转托盘卡在平面轴承顶部后，稳定板由外侧的定位螺栓与旋转托盘底部连接，使旋转托盘和平面轴承更加牢固的连接在一起，将溶液缸体放置在旋转托盘表面后，电动推杆推动推板由两侧将溶液缸体的位置进行限定，避免工作过程中溶液缸体由旋转托盘表面掉落的情况发生。