[实用新型]气相沉积炉的沉积装置有效
| 申请号： | 201921403707.1 | 申请日： | 2019-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN210595779U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 卫巍;葛磊;颜丽芳;张玉;刘宝;金勇;孙栋梁;陈程;顾清华;催景涛;邱徐斌 | 申请（专利权）人： | 江苏亨通智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/14 |
| 代理公司： | 苏州睿昊知识产权代理事务所(普通合伙) 32277 | 代理人： | 沈彬彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。本实用新型的气相沉积炉的沉积装置，采用双凸台设计，将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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