[实用新型]气相沉积炉的沉积装置

说明书

本实用新型公开了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。本实用新型的气相沉积炉的沉积装置，采用双凸台设计，将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。

技术领域

本实用新型涉及气相沉积炉技术领域，具体涉及一种合成石英玻璃中用到的沉积装置，特别是用于形成二氧化硅松散体的沉积装置。

背景技术

合成石英玻璃纯度高，紫外透过率高，抗析晶性能强，耐温性高，使用寿命长，被广泛用于光纤制造、光学仪器制造、半导体光刻蚀用光掩模板制造等高新技术领域。

合成石英玻璃主要以四氯化硅或有机硅为原料，通过CVD、PCVD或间接合成法方式进行制备。其中间接法具有沉积温度低，沉积速度高，能耗及制备成本低，纯度高等优点。采用间接法合成石英玻璃，炉中需设计一个沉积装置，该结构能够沉积纳米级二氧化硅松散体，并在炉中通过脱水、脱气及烧结玻化处理，获得高纯合成石英。

传统的合成石英玻璃沉积装置，生产装卸不方便，容易磕碰或磨损导致碎裂，一旦发生容易导致合成棒料掉落破坏炉体，存在安全隐患。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种气相沉积炉的沉积装置，该沉积装置采用双凸台设计，将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种气相沉积炉的沉积装置，所述沉积装置由固连于一起的石英手柄与石英引杆组成，所述石英手柄包括连接于石英引杆上的短杆，所述短杆远离石英引杆的端部形成有上凸台和下凸台。

进一步地，所述上凸台与下凸台的下端面形成为圆弧面，可有效减少石英手柄的拆装和转运过程中的磕碰。

进一步地，所述圆弧面经过抛光处理，可降低旋转过程中下凸台端面形成裂纹的概率，提高了沉积装置的使用寿命。

进一步地，所述上凸台、下凸台与所述短杆一体成型，从而提高了石英手柄的承重能力和稳定性。更进一步地，上凸台、下凸台与短杆通过数控加工一体化成型。

进一步地，所述短杆采用高温熔融拼接方式与石英引杆相连。当沉积完成后，可将石英引杆和沉积合成的石英玻璃从石英手柄上切下来，其石英手柄可以再次拼接重复使用，从而达到降低成本的目的。

进一步地，所述石英手柄和石英引杆均采用高纯石英材质制备而成。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的气相沉积炉的沉积装置，将石英手柄设计为上凸台、下凸台和短杆结构，其中上凸台可以方便拆装，转运沉积的合成石英玻璃，如果下凸台碎裂，上凸台也起到防掉落效果；将装卸、承载和沉积功能分开，使得生产装卸方便，提升生产效率和安全性。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的气相沉积炉的沉积装置的结构示意图；

图2为包含实施例1的沉积装置的气相沉积炉的结构示意图；

图中标号说明：1、石英手柄；2、石英引杆；3、合成石英玻璃；4、氢氧焰燃烧器；5、出气口；6、上凸台；7、下凸台；8、短杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。