[实用新型]等离子体发生器及其阴极模块有效
| 申请号： | 201921399176.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210609829U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张子炜;杨明辉;陈明周;陆杰;刘夏杰;陈祎;司徒达志;杨武;魏欢饴;吕永红;华伟;刘沪滨;周祯;林闪辉 | 申请（专利权）人： | 中广核研究院有限公司;中广核环境科技（深圳）有限责任公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;王少虹 |
| 地址： | 518031 广东省深圳市福田区上步中路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种等离子体发生器及其阴极模块，阴极模块包括阴极本体、设置在阴极本体的中心通道内的导气件、以及设置在阴极本体内且位于导气件外围的冷却通路；阴极本体的第一端封闭，相对的第二端开放与导气件相连通；阴极本体的侧面上设有连通导气件的进气接口、分别连通冷却通路的冷却剂进口和冷却剂出口；工作气体从进气接口进入导气件，通过阴极本体的第二端输出；冷却剂从冷却剂进口进入冷却通路，沿着冷却通路流通后从冷却剂出口排出。本实用新型的阴极模块，将冷却通路、工作气路等集成在为一体，结构简单，可靠性高；阴极模块可与阳极组装形成大功率的等离子体发生器，拆装便捷且耗时少，方便维护。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生器 及其 阴极 模块 | ||
【主权项】：
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