[实用新型]等离子体发生器及其阴极模块有效
| 申请号： | 201921399176.3 | 申请日： | 2019-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN210609829U | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张子炜;杨明辉;陈明周;陆杰;刘夏杰;陈祎;司徒达志;杨武;魏欢饴;吕永红;华伟;刘沪滨;周祯;林闪辉 | 申请（专利权）人： | 中广核研究院有限公司;中广核环境科技（深圳）有限责任公司;中国广核集团有限公司;中国广核电力股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙) 44314 | 代理人： | 林俭良;王少虹 |
| 地址： | 518031 广东省深圳市福田区上步中路*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 发生器 及其 阴极 模块 | ||
1.一种等离子体发生器的阴极模块，其特征在于，包括阴极本体、设置在所述阴极本体的中心通道内的导气件、以及设置在所述阴极本体内且位于所述导气件外围的冷却通路；
所述阴极本体的第一端封闭，相对的第二端开放与所述导气件相连通；
所述阴极本体上设有连通所述导气件的进气接口、分别连通所述冷却通路的冷却剂进口和冷却剂出口；
工作气体从所述进气接口进入所述导气件，通过所述阴极本体的第二端输出；冷却剂从所述冷却剂进口进入所述冷却通路，沿着所述冷却通路流通后从所述冷却剂出口排出。
2.根据权利要求1所述的阴极模块，其特征在于，所述导气件为筒状结构，其朝向所述阴极本体第一端的一端上设有多个周向分布的通气孔。
3.根据权利要求1所述的阴极模块，其特征在于，所述冷却通路包括自内向外径向分布且相连通的第一环道和第二环道；
所述冷却剂进口与所述第一环道相连通，所述冷却剂出口与所述第二环道相连通。
4.根据权利要求3所述的阴极模块，其特征在于，所述第一环道和第二环道相间隔设置在所述阴极本体的侧壁内，且所述第一环道的一端与所述第二环道的一端相连通。
5.根据权利要求4所述的阴极模块，其特征在于，所述冷却剂进口对应所述第一环道的另一端设置在所述阴极本体的侧面上，贯通所述阴极本体的侧壁至连通所述第一环道的该另一端；
所述冷却剂出口对应所述第二环道的另一端设置在所述阴极本体的侧面上，贯通所述阴极本体的侧壁至连通所述第二环道的该另一端。
6.根据权利要求1所述的阴极模块，其特征在于，所述阴极模块还包括设置在所述阴极本体上的接线板。
7.根据权利要求1-6任一项所述的阴极模块，其特征在于，所述阴极模块还包括配合在所述阴极本体第二端上的用于与阳极连接的连接件。
8.根据权利要求7所述的阴极模块，其特征在于，所述连接件呈环状结构，且设有内螺纹。
9.根据权利要求8所述的阴极模块，其特征在于，所述连接件的外周面上设有多个间隔分布的凹位。
10.一种等离子体发生器，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的阴极模块。
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