[实用新型]一种用于光刻胶生产的尾气处理装置有效
| 申请号： | 201921368773.X | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN210495747U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 周国波;陈武档;赖艺珠;梁荣增;宋里千 | 申请（专利权）人： | 福建泓光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;B01D53/74 |
| 代理公司： | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙) 11310 | 代理人： | 张江涵 |
| 地址： | 363000 福建省漳*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室，所述风机安装在风管上，风管外侧环绕有冷却管，冷却管内部穿过冷却箱内部，冷却管两端均安装在水箱内，风管一端与除尘室内部连通，除尘室内部安装有喷淋装置，喷淋装置下端设有喷头，喷淋装置上端设有水管连接块，水管连接块与水管连接，水管另一端与第二水箱连接，除尘室另一端连接导管，导管另一端连接过滤室，过滤室另一端与杀菌室内部连接，杀菌室另一端连接熏香室，熏香室外侧设有出风口，多个过滤方式，从多个层面对废气进行过滤处理，确保过滤后的废气不含污染物且没有臭味，环保健康。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 生产 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】：
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