[实用新型]一种用于光刻胶生产的尾气处理装置

权利要求书

1.一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，包括风机、冷却箱、水箱、第二水箱、除尘室、导管、过滤室、杀菌室及熏香室，其特征在于：所述风机安装在风管上，风管外侧环绕有冷却管，冷却管内部穿过冷却箱内部，冷却管两端均安装在水箱内，风管一端与除尘室内部连通，除尘室内部安装有喷淋装置，喷淋装置下端设有喷头，喷淋装置上端设有水管连接块，水管连接块与水管连接，水管另一端与第二水箱连接，除尘室另一端连接导管，导管另一端连接过滤室，过滤室另一端与杀菌室内部连接，杀菌室另一端连接熏香室，熏香室外侧设有出风口。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，其特征在于：所述冷却箱内部设有压缩机、冷凝器、蒸发器、毛细管与冷却室，所述压缩机、冷凝器、毛细管与蒸发器依次连接，蒸发器设在冷却室内部，冷却管穿过冷却室内部并与蒸发器贴合。

3.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，其特征在于：所述水箱与第二水箱内部设有微型水泵。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，其特征在于：所述过滤室内部设有第一过滤片、第二过滤片、第三过滤片及第四过滤片，第一过滤片为钢丝过滤网，第二过滤片为若干刀片组成的过滤网，第三过滤片为棉布网，第四过滤片为活性炭过滤网。

5.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，其特征在于：杀菌室内部安装有若干紫外线杀菌灯。

6.根据权利要求1所述的一种用于光刻胶生产的尾气处理装置，其特征在于：所述熏香室顶部与熏香器连接，熏香器内部安装有香囊，香囊安装在熏香块内，熏香块与熏香室内部可拆卸连接，熏香室前端设有出风口。