[实用新型]一种硅差压传感器有效

专利信息
申请号: 201921356727.8 申请日: 2019-08-20
公开(公告)号: CN210464778U 公开(公告)日: 2020-05-05
发明(设计)人: 王国益;其他发明人请求不公开姓名 申请(专利权)人: 上海自优仪器仪表有限公司
主分类号: G01L19/06 分类号: G01L19/06;G01L13/00
代理公司: 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人: 翁若莹;王文颖
地址: 201612 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种硅差压传感器,其特征在于,包括相邻的高压侧基座、低压侧基座,高压侧基座或低压侧基座上设有陶瓷部件、压力敏感芯片,高压侧基座与压力敏感芯片、高压侧隔离膜片、过载保护膜片等之间构成用于填充高压侧充灌液的高压腔路径,低压侧基座与压力敏感芯片、低压侧隔离膜片、过载保护膜片等之间构成用于填充低压侧充灌液的低压腔路径;高压侧隔离膜片、高压侧基座、过载保护膜片、低压侧基座、低压侧隔离膜片、导油管部件、芯片管座及环部件之间的全焊接结构,该全焊接结构与高低压侧充灌液的共同作用,使硅差压传感器具有可靠的单向压力过载保护及高静压功能,提高了硅差压传感器的性能。
搜索关键词: 一种 硅差压 传感器
【主权项】:
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