[实用新型]一种接触式光刻机吸盘有效
| 申请号： | 201921322740.1 | 申请日： | 2019-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN210428087U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 唐阳明 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市青浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种接触式光刻机吸盘。所述一种接触式光刻机吸盘，包括吸盘A和吸盘体，吸盘A一侧设置有销轴孔，吸盘体一侧设置销轴孔，销轴与销轴孔轴向间隙配合，吸盘体一侧与吸盘A间隙配合，吸盘体另一侧与吸盘B间隙配合。本实用新型提供的一种接触式光刻机吸盘通过采用真空吸气槽，真空吸气槽是由硅胶制成，硅胶材料和金属材料相比硬度低不会对被吸件造成损害，设置了多个通气孔且分布均匀使得被吸件在吸附是所受到的力变得均匀，解决了现有的吸盘是金属材质，如果控制不好吸引力很容易导致被吸物件出现损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 光刻 吸盘 | ||
【主权项】：
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