[实用新型]一种接触式光刻机吸盘

权利要求书

1.一种接触式光刻机吸盘，包括吸盘A(2)和吸盘体(10)，其特征在于：所述吸盘A(2)一侧设置有销轴孔(4)，所述吸盘体(10)一侧设置销轴孔(4)，所述销轴(1)与销轴孔(4)轴向间隙配合，所述吸盘体(10)一侧与吸盘A(2)间隙配合，所述吸盘体(10)另一侧与吸盘B(16)间隙配合，所述吸盘体(10)一侧设置有联通孔(11)，所述吸盘体(10)与抽气孔(13)轴向间隙配合，所述抽气孔(13)一端与真空吸气槽(7)间隙配合，所述销轴(1)共有四个，所述销轴孔(4)共有四个，联通孔(11)共有四个，所述抽气孔(13)共有一个。

2.根据权利要求1所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘A(2)还包括开口槽(3)、通气孔(5)和真空吸气槽(7)，所述开口槽(3)一侧与吸盘A(2)间隙配合，所述吸盘A(2)轴向设置有真空吸气槽(7)，所述真空吸气槽(7)外表面与通气孔(5)间隙配合，所述真空吸气槽的材料为硅胶。

3.根据权利要求1所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘A(2)还包括图像采集组件A(6)、图像采集组件B(8)和定位孔(9)，所述吸盘A(2)一侧通过螺钉与图像采集组件A(6)固定连接，所述吸盘A(2)另一侧通过螺钉与图像采集组件B(8)固定连接，所述吸盘A(2)外表面设置有定位孔(9)，所述定位孔(9)位于真空吸气槽(7)下方。

4.根据权利要求1所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘体(10)还包括安装槽A(14)、安装槽B(15)、投影系统A(17)和投影系统B(25)，所述吸盘体(10)一侧设置有安装槽A(14)，所述吸盘体(10)另一侧设置有安装槽B(15)，所述安装槽A(14)内表面与投影系统B(25)间隙配合，所述安装槽B(15)内表面与投影系统A(17)间隙配合。

5.根据权利要求1所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述吸盘体(10)还包括联通孔(11)和气道(12)，所述吸盘体一侧设置有气道(12)，所述气道(12)为半圆弧形，所述气道(12)共有两个，所述吸盘体(10)内表面设置有联通孔(11)。

6.根据权利要求4所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述投影系统A(17)还包括硅板定位反射镜(19)、分解棱镜A(20)、通光孔A(21)和光学成像通道(22)，所述分解棱镜A(20)一侧通过螺钉与投影系统A(17)固定连接，所述光学成像通道(22)一侧通过螺钉与投影系统A(17)固定连接，所述硅板定位反射镜(19)位于分解棱镜A(20)上方，所述光学成像通道(22)一侧设置有通光孔A(21)。

7.根据权利要求4所述的一种接触式光刻机吸盘，其特征在于，所述投影系统A(17)还包括参考标记反射镜像(18)、光学成像通道(22)、通光孔B(23)和反射棱镜B(24)，所述反射棱镜B(24)一侧通过螺钉与投影系统A(17)固定连接，所述光学成像通道(22)一侧通过螺钉与投影系统A(17)固定连接，所述参考标记反射镜像(18)位于反射棱镜B(24)上方，所述光学成像通道(22)一侧设置有通光孔B(23)。