[实用新型]一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座

摘要

本实用新型涉及隔振基座技术领域，具体为一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，包括支撑板，支撑板下端设置有若干均匀分布的横梁柱，横梁柱上设置有若干均匀分布的支撑装置，支撑装置包括横撑杆、立柱和X型支架，立柱的上端端部开设有方形凹槽，横梁柱贯穿立柱的方形凹槽，立柱中嵌入有若干均匀分布的吸收装置，吸收装置包括定位座、牵制体、控制球、压力壳体和弹簧，本实用新型构造设计实现震动能量被若干吸收装置高效稳定的吸收，同时定位座的圆锥状设计不会影响立柱的支撑稳定性，这样避免震动通过基座影响到电子无尘室中的机器设备，对装置进行保护，提高无尘室的使用寿命。