[实用新型]一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座

权利要求书

1.一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)下端设置有若干均匀分布的横梁柱(2)，所述横梁柱(2)上设置有若干均匀分布的支撑装置(3)，所述支撑装置(3)包括横撑杆(4)、立柱(5)和X型支架(6)，所述横撑杆(4)的端部固定连接有立柱(5),横撑杆(4)的下端设置有X型支架(6)，所述X型支架(6)端部和立柱(5)固定连接，立柱(5)的上端端部开设有方形凹槽，横梁柱(2)贯穿立柱(5)的方形凹槽，立柱(5)中嵌入有若干均匀分布的吸收装置(13)，所述吸收装置(13)包括定位座(7)、牵制体(8)、控制球(9)、压力壳体(10)和弹簧(11)，所述定位座(7)形状为圆锥，且定位座(7)中开设有控制腔(12)，牵制体(8)、控制球(9)、压力壳体(10)和弹簧(11)位于控制腔(12)中，所述牵制体(8)的下端固定连接控制球(9)，所述控制球(9)外部设置有压力壳体(10)，所述控制球(9)和压力壳体(10)之间设置有若干均匀分布的弹簧(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，其特征在于：所述控制腔(12)形状为圆台状腔一端连通半球体状腔，所述压力壳体(10)形状为上端开口的球壳状，牵制体(8)下端延伸到内腔压力壳体(10)中。

3.根据权利要求2所述的一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，其特征在于：牵制体(8)的设置于控制腔(12)的中轴线位置，牵制体(8)的形状为若干S型弯折杆首尾连接，牵制体(8)的上端固定嵌入到定位座(7)中。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的隔振基座，其特征在于：所述弹簧(11)一端延伸到压力壳体(10)内壁上开设的柱状凹槽中，弹簧(11)另一端延伸到控制球(9)外壁上开设的柱状凹槽中，压力壳体(10)和弹簧(11)上的柱状凹槽开口端均为圆角结构。