[实用新型]一种分片送料装置

摘要

本实用新型公开了一种分片送料装置，包括设置在支撑机构上方的用于硅片运输的输送机构，所述支撑机构包括底板以及设置在所述底板后侧的支撑板，还包括设置在所述支撑机构上方通过螺纹传动的用于提升硅片的上料机构以及设置在所述上料机构上方通过往复运动将硅片进行分片的分片机构。本实用新型通过第三伺服电机带动丝杠转动，对活动板进行提升，同时第一伺服电机带动凸轮转动，通过连杆使滑块上的推料板在导柱上进行往复移动，对承载板上提升的硅片进行分片，推送到输送带上运输，提高了硅片的分片和运输效率，降低了人工劳动强度。